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品業(yè)展示圖9.25第二版.jpg)
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金相測(cè)量顯微鏡主要用于LED封裝、半導(dǎo)體封裝、微電子行業(yè)、精密器件等高精度的尺寸及外形精密測(cè)量，如半導(dǎo)體行業(yè)：對(duì)金球直徑測(cè)量、金球厚度尺寸測(cè)量、線弧高度測(cè)量、金線直徑測(cè)量、芯片尺寸測(cè)量、支架尺寸測(cè)量等。
LB-200采用進(jìn)口高精度光柵尺，Z軸分辨率高達(dá)0.1um，以滿(mǎn)足用戶(hù)不同產(chǎn)品的高精度測(cè)量需求。
覆蓋范圍廣：兼容多種測(cè)量和觀察需求
可操作性：操作更簡(jiǎn)單、更高效
高度測(cè)量：實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面凹凸的高精度測(cè)量
測(cè)量支持系統(tǒng)：對(duì)復(fù)雜形狀也能簡(jiǎn)單、高精度地測(cè)量
設(shè)備測(cè)試參數(shù)：
| 設(shè)備型號(hào) | LB-200 | |
| 測(cè)試范圍 | 200*100mm | |
| 儀器重量 | 75KG | |
| 金屬臺(tái)面尺寸 | 350*250mm | |
| 外形尺寸 | 700*900*800mm | |
| 玻璃尺 | 230*160mm | |
| X、Y分辨率 | 0.0005mm | |
| Z軸分辨率 | 0.0001mm | |
| 移動(dòng)方式 | 手動(dòng) | |
| 物鏡 | 5X，10X，20X，50X | |
| 照明系統(tǒng) | 200萬(wàn)海康相機(jī) | |
| 照明系統(tǒng)光源 | 3W LED | |
| XYZ定位精準(zhǔn)度 | ±0.1um | |
| XYZ重復(fù)精度 | ±0.1um | |
| XY測(cè)量誤差 | （3+L/100）um，“L”為被測(cè)長(zhǎng)度，單位：mm | |
| Z軸測(cè)量誤差 | （2.5+L/100）um，“L”為被測(cè)量長(zhǎng)度，單位：mm | |
| 工作電壓 | AC110V-220V | |
| 功率 | 100W | |
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